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PECVD system/Graphene Tube Furnace
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PECVD system/Graphene Tube Furnace

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1 Set Minimum Order

País:

China

N º de Modelo:

CY-O1200-60-4CLV-PE

Precio FOB:

Lugar de origen:

-

Precio de pedido mínimo:

-

Cantidad de pedido mínimo:

1 Set

Detalle de embalaje:

ply wood box

El tiempo de entrega:

20 days

Capacidad de suministro:

-

Tipo de pago:

-

Grupo de productos :

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Miembro Básico

Persona de contacto Jenny

Zhengzhou, Henan

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Especificaciones del producto

  • Brand Name: CY
  • name:PECVD
  • tube size:50/60/80/100/120 mm
  • tube length:1400mm
  • heating temperature:1150 degree
  • heating element:heat wire
  • thermocouple :K type

Descripción del producto

Featrues of Graphene Tube Furnace

1.Lower temperature processing compared to conventional CVD. 
2.Film stress can be controlled by high/low frequency mixing techniques. 
3.Control over stoichiometry via process conditions.
4.Offers a wide range of material deposition, including SiOx, SiNx, SiOxNy and

Amorphous silicon (a-Si:H) deposition.

 

Technical parmaters of Graphene Tube Furnace

 

 
Plit Tube furnace Input power: **8  **0V AC, 1.2kW
***0°C Max. working temperature for < *0 minutes
***0°C Max for continuous heating
High purity quartz tube 2"OD x 1.7"ID x  *9.4" Length 
*0 segments programmable precision digital temperature controller
*" (*), * * *" (*)  (+/-*°*) @********************
Plasma RF Generator Output Power:5 ***0W adjustable with ± 1% stability
RF frequency: *3.*6 MHz ±0.**5% stability  Reflection Power: **0W max.
Matching:                 Automatic
RF Output Port:        *0 Ω, N-type, female
Noise:                      <*0 dB. 
Cooling:                    Air cooling. 
Power :                     ******0VAC, *0/*0Hz
Vacuum Flange and Fittings Vacuum flange set is made of stainless steel **4. 
Left flange assembly includes a KF**5 vacuum port,  two KF**5 
quick clamp,
A KF**5 right angle valve, a KF**5 vacuum bellows, a flange 
Support 1/4 O.D 
Hose fitting, and a needle valve.
Right flange assembly includes a digital pirani gauge, 1/4 O.D 
tube fitting, 1/4"
Feedthrough and a needle valve.
Vacuum Pump  AC **0V *0 Hz  1/2HP  **5W
2 Liter /S  or **0 liter/m 
Oil trap (inlet) and exhaust filter (outlet) are installed.
Max. vacuum:  ***2 torr
Warranty  *2 month (exclusive wearing part)

País: China
N º de Modelo: CY-O1200-60-4CLV-PE
Precio FOB: Obtener el precio más reciente
Lugar de origen: -
Precio de pedido mínimo: -
Cantidad de pedido mínimo: 1 Set
Detalle de embalaje: ply wood box
El tiempo de entrega: 20 days
Capacidad de suministro: -
Tipo de pago: -
Grupo de productos : TUBE FURNACE

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A:

Jenny < Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd >

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